一、超高真空可調(diào)式插板閥概述
1.此閥門為帶步進電機的控制插板閥,在結(jié)構(gòu)設(shè)計上合理,外形上美觀,并具有精度高、使用可靠、壽命長等優(yōu)點,能廣泛應(yīng)用于需要調(diào)節(jié)閥門的開啟度來控制流量的超高真空設(shè)備中。
2.閥門分別以步進電機傳動力矩為動力,通過傳動桿推(拉)動連桿機構(gòu),帶著驅(qū)動體沿軸向運動,驅(qū)動體通過擺桿或鋼珠與閥板連接,完成閥板開啟及關(guān)閉動作。
3.閥門作為一個節(jié)流元件動作,驅(qū)動由驅(qū)動器,步進電機和控制器來完成,其中控制器提供一個位置控制模式,它允許控制閥以選定速度在開和關(guān)的任意位置,而電源控制也可手動調(diào)節(jié),電源控制時,為脈沖信號控制,速度快,定位準(zhǔn)。
4.閥門的介質(zhì)為空氣及非腐蝕性氣體。
二、超高真空可調(diào)式插板閥特點
軸封為波紋管密封,其它密封件為氟橡膠,無潤滑劑設(shè)計;
閥體采用不銹鋼內(nèi)部焊接,漏率小;
閥體采用加強筋結(jié)構(gòu),體積小、重量輕,外形美觀;
采用雙導(dǎo)軌軸承滾輪機構(gòu),運動平穩(wěn);閥板整體式結(jié)構(gòu),支撐力均勻;
步進電機驅(qū)動,閥門的閥板開啟位置任意可調(diào),可用于調(diào)節(jié)流量。