1,排氣路徑短，減少反應(yīng)物沉積

　　干式螺旋真空泵相較于其他形式的真空泵，因氣體于泵浦內(nèi)的傳輸路徑最短，最不易產(chǎn)生反應(yīng)物沉積的現(xiàn)象。

　　2,線形密封性佳，泵性能更優(yōu)

　　轉(zhuǎn)子密封線形，轉(zhuǎn)子密封性佳，轉(zhuǎn)子能以較大的嚙合間隙達(dá)到更快的抽氣效果。由于噴合間隙較大，泵較不易因制程氣體沉積而卡死，轉(zhuǎn)子也較不易因磨耗而需更換。

　　3,結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，故障率低，維修容易

　　螺桿真空泵因需利用一對(duì)轉(zhuǎn)子互相噴合達(dá)到密封效果，結(jié)構(gòu)上不像其他形式的真空泵需要有中間隔板的設(shè)計(jì)，降低轉(zhuǎn)子與隔板沉積卡死的風(fēng)險(xiǎn)。且因其結(jié)構(gòu)單純，拆解維修也較容易，因此能縮短維修時(shí)程，降低維修費(fèi)用。

　　4,微電腦操作，遠(yuǎn)端監(jiān)控，保護(hù)周全

　　微電腦操控器提供真空泵最簡(jiǎn)單的操作方式并能顯示泵浦完整的運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)，方便使用者對(duì)泵浦應(yīng)用狀況進(jìn)行調(diào)整，在泵浦產(chǎn)生問(wèn)題前進(jìn)行預(yù)防保養(yǎng)。遠(yuǎn)端監(jiān)控系統(tǒng)能提供使用者方便的監(jiān)控工具，使用者不需到現(xiàn)場(chǎng)即能查詢泵浦之運(yùn)轉(zhuǎn)狀況。

　　4,性能優(yōu)勢(shì)

　　(1)專用冷卻液冷卻，避免了冷卻水可能對(duì)殼體造成腐蝕。

　　(2)移動(dòng)式操作界面，方便操作;顯示真空泵實(shí)際工作狀況，并可選中英兩種文字顯示，切實(shí)貼近客戶。

　　(3)軍規(guī)電源接頭，安全方便。

　　(4)氮?dú)饧訜崞?，使真空泵更適應(yīng)于CVD、PECVD等半導(dǎo)體制程。

　　(5)控制訊號(hào)及通訊信號(hào)接口，可對(duì)真空泵進(jìn)行遠(yuǎn)端監(jiān)控。