一.干式螺桿真空泵原理介紹
干式螺桿真空泵的原理是利用一對螺桿,在螺桿真空泵的泵室內(nèi)同步反向高速運行,由兩個轉子.泵體和側蓋組成幾個室,實現(xiàn)吸排氣作用的泵機械設備。
這些個的氣室定期地從真空泵的吸氣口側向排氣口側“移動”,氣體以低速旋轉的方式被輸送。
即使真空泵繼續(xù)運轉,氣體的流動也不會改變,所以能在一定程度上引出可能被氣體夾住的細微粒子和蒸汽。
干式螺桿真空泵工作時,兩螺桿相互間不產(chǎn)生直接摩擦力,泵室內(nèi)不需潤滑油,運行中機械平穩(wěn),發(fā)出的聲音小。
與等長螺桿真空泵相比,改變螺距結構的真空泵極限真空度高,有良好的間隙設計和連續(xù)壓縮方式,單泵可達到0.0075torr(0.01 hpa
)的極限真空。 能耗更低,變螺距螺桿真空泵的節(jié)能型設計理念,可使能耗降低30%,是油封式真空泵的好替代品。
在半導體行業(yè),干式螺桿式真空泵,大幅度提高了工作環(huán)境的質量,提高了生產(chǎn)的產(chǎn)品品質和性能。
二.干式螺桿真空泵的選型特點
干式螺桿式真空泵具有良好的制冷方式,市售的干式真空泵多使用茄克衫冷卻水蒸發(fā)制冷轉子,干式真空泵采用符合流體動力學的螺旋狀冷卻水茄克衫結構,提高了熱交換效率,產(chǎn)生了更好的蒸發(fā)制冷效果,干式真空泵的泵室內(nèi)部也合理維持了低溫度
眾所周知,溶液中的酸性絡離子和堿性絡離子與金屬發(fā)生化學反應時,金屬就會腐蝕,溫度越高化學反應越快,腐蝕速度越快。
一般的真空泵采用耐腐蝕材質,或者轉子使用耐腐蝕性的涂層材料來延遲腐蝕速率。
利用氣鎮(zhèn)閥裝置降低腐食性瓦斯氣體的分壓,能夠防止腐食性瓦斯氣體在泵室內(nèi)凝結,進一步提高真空泵的耐腐蝕性能力。
制造的干式螺桿真空泵有以下優(yōu)點
1.清潔環(huán)境保護:工作室內(nèi)無其他雜質,可獲得清潔真空
2.真空度高:間隙設計和壓縮方式良好
3.防腐設計:耐腐蝕的性涂層材料,瓦斯氣體鎮(zhèn)閥裝置
4.蒸發(fā)制冷效果:采用符合流體動力學的螺旋狀冷卻水茄克衫
5.節(jié)能:可變螺距螺桿的節(jié)能型設計
6.成本低:無污染.無污染.無廢棄排放處理成本.維護成本低.在泵出口回收排放瓦斯氣體.綜合成本低.工程成本低
7.開車很順暢
8.標準配置和輔助設施完備
9.健全的零配件供應和售后服務。