2019
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真空泵的分類 01 按性能特點和用途分類 (1)低真空泵 泵的極限壓力高于102Pa的真空泵屬于低真空泵。常見的低真空泵有往復式真空泵、旋轉式真空泵、液環(huán)式真空泵、噴射式真空泵以及吸附式真空泵?！ ?2)中真空泵 極限壓力在102~-10-1Pa的真空泵屬于中真空泵。常見的有羅茨真空泵、多級噴射式真空泵、多級旋轉機械真空泵以及高速旋轉式機械真空泵等。 (3)高真空泵 極限壓力在10-1~10-5Pa的真空泵屬于高真空泵。常見的高真空泵有各種擴散泵及分子泵等。 (4)超高真空泵 極限壓力低于10-5Pa的真空泵屬于超高真空泵。超高真空泵主要有各種離子泵、低溫泵等。 02 按工作原理和結構特點分類 (1)機械式容積真空泵 靠機械運動使泵腔工作容積周期變化來實現(xiàn)抽氣作用的是機核式容積真空泵。屬于這類泵的有往復式真空泵、旋轉式機械泵(包括旋片式、螺桿式、羅茨式、液環(huán)式等)。這類泵中除機械增壓泵外，一般均可單獨使用。 (2)射流式真空泵 沒有機械運動部件,主要靠通過噴嘴的高速射流來抽真空的是射流式真空泵。屬于這類泵的有水蒸氣噴射泵、空氣噴射泵、水噴射泵以及各種擴散泵等。這類泵結構簡單,工作可靠,壽命長,易于維修,應用比較普遍。 03 各類真空泵的工作壓力范圍及特征 真空泵的選擇 01 依據(jù)和條件 (1)系統(tǒng)對真空度的要求 根據(jù)系統(tǒng)對真空度的要求，選擇相應極...