進(jìn)口真空泵,凡是利用機(jī)械運(yùn)動(轉(zhuǎn)動或滑動)以獲得真空的泵,稱為機(jī)械真空泵。
(1)按真空泵的工作原理分類
?、俪槌?,真空泵抽吸系統(tǒng)中的氣體,并將氣體分子排至系統(tǒng)之外。
②捕集式。真空泵捕集系統(tǒng)中的氣體分子,直接吸附在泵工作壁面上而不排出系統(tǒng)。
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(2)按真空泵結(jié)構(gòu)分類
①機(jī)械式。這類真空泵類似于壓縮機(jī),屬于容積型的有往復(fù)式與回轉(zhuǎn)式結(jié)構(gòu),還有屬于動力式的渦輪分子泵,它們都屬于抽除式真空泵。
?、趪娚浔?。有噴射泵與擴(kuò)散泵兩種形式,還有將二者組合在一起的增壓泵,也都屬于抽除式真空泵。
③吸著式。依靠物理或化學(xué)方法使氣體分子吸著在泵壁表面,屬于捕集式真空泵。
(3)按真空泵在系統(tǒng)中的工作職能分類
?、僦鞒闅獗?。實(shí)現(xiàn)所要求壓力的主要工作泵。
?、陬A(yù)抽氣泵。當(dāng)主抽氣泵不能在大氣狀態(tài)直接開始抽吸時(shí),需要預(yù)抽泵先抽至某一壓力,主抽氣泵方能進(jìn)入工作。
③前級泵。當(dāng)主抽氣泵不能將所抽氣體直接排入大氣時(shí),需串接前級泵排送。
④維持泵。當(dāng)主抽氣泵完成所要求的壓力停止工作后,由于系統(tǒng)泄漏或表面蒸發(fā)等原因,壓力可能升高,因此用維持泵繼續(xù)抽吸。